当前位置：首页 > 产品中心
超精密磨削
.jpg)
精密和超精密磨削加工技术百度百科
超精密磨削是指加工精度达到01μm 以下、表面粗糙度低于0025 μm法，是一种亚微米级的加工方法，并正向纳米级发展，适宜于对钢伙材料及陶瓷、玻璃等使观材料的加工。 近年来，超精密磨削的发展很快，出现了一些 2018年11月1日 本文介绍了超精密加工的概念、发展、应用和技术特点,重点讲解了超精密切削和超精密磨削的原理、方法和工艺。超精密磨削是一种利用金刚石或碳磨刀对工件表 超精密加工技术讲义 USTC2020年8月26日 超精密加工就是在超精密机床设备上，利用零件与刀具之间产生的具有严格约束的相对运动 ，对材料进行微量切削，以获得极高形状精度和表面光洁度的加工过程。 当前的超精密加工是指被加工零件的尺寸 精密与超精密加工现状与发展趋势 知乎主要有超精密 车削、镜面磨削 和 研磨 等。在超精密 车床 上用经过精细研磨的 单晶金刚石 车刀进行微量车削,切削厚度仅1微米左右，常用于加工 有色金属材料 的球面、非球面和平面的反射镜等高精度超精密加工百度百科
综述：半导体基片超精密磨削技术的研究现状与发展趋势
2024年6月13日 超精密磨削是半导体基片平整化加工和背面减薄加工的关键技术。阐述了半导体基片磨削表面材料去除机理、表面质量及控制方法、高效低损伤磨削工艺及超精密 2023年9月25日 本文综述了硬脆材料超精密磨削技术的原理、设备、磨轮、机理、质量控制等方面的研究进展，分析了硬脆材料超精密磨削的重点研究方向与发展趋势。本文适合对硬脆材料超精密磨削技术感兴趣的学者、 硬脆材料超精密磨削技术研究进展综述2021年8月17日 传统的磨削方法采用微小磨具进行超精密磨削加工，加工效率低，砂轮磨损严重，需要进行多次繁琐的砂轮修整，不仅降低加工效率，而且增加编程和对刀过程，加工难度大。超精密磨削与仿真技术澎湃号湃客澎湃新闻The 2023年7月25日 超精密磨削是半导体基片平整化加工和背面减薄加工的核心工艺技术，对半导体器件的加工效率及加工质量具有重要的影响。 为了满足半导体器件的使用性能，半 半导体基片超精密磨削技术的研究现状与发展趋势
精密磨削技术在工业制造中的应用与发展 Saint
2023年11月1日 精密磨削技术在工业制造中扮演着重要的角色，它的应用与发展对于提高工件的精度和表面质量至关重要。本文将从材料选择、工艺优化、设备发展和未来趋势四个方面对精密磨削技术在工业制造中的应用 小型高精度自由曲面、棱镜和非球面磨削 法孚的克兰菲尔德精密机床TTG提供高精度非球面和自由曲面的磨削。专为 高端光学和模具 的磨削设计，包括医疗和航空航天领域的工件，磨床磨削工件直径可达 350 mm。 克兰菲尔德超精密机床TTG行业领先的超精密加工，来自克兰菲尔德精密2018年11月1日 超精密加工主要有超精密切削、超精密磨削 以及抛光加工，其加工精度可以 达到亚微米量级的形状精度和纳米量级的表面粗糙度。特别是使用精密的天然单 点金刚石刀具加工有色金属和非金属，可以直接切削出超光滑的加工表面，省去 超精密加工技术讲义 USTC2023年11月1日 新型的数控磨床、超精密磨削 机、多轴联动磨削机等设备的出现，为精密磨削技术的应用提供了更加先进的加工手段，大幅度提高了工件的加工精度和加工效率。 同时，磨削设备的化、自动化程度也在不 精密磨削技术在工业制造中的应用与发展 Saint
精密和超精密磨削机理及磨削砂轮选择的研究
2016年7月9日 从磨削砂轮及其修整、磨削用量、磨床精度等主要方面总结达到精密和超精密磨削效果的必要措施。提出有关超精密磨削机理的技术发展前沿并着重介绍有关超硬材料砂轮超精密磨削的研究趋势。2023年5月6日 度微量可控的超精密磨削加工，加工口径为1 m工件 的表面形状精度能够达到1 μm[3]。美国Moore公司研 制的五轴联动Nanotech 500FG、Nanotech 650FG超 精密磨床，可以磨削轴对称、非轴对称的光学曲面，曲面磨削加工面形精度PV可达到03 μm，表面粗糙光学元件超精密磨抛加工技术研究与装备开发 OE Journal2021年8月17日 这种以超精密加工对象的精度和表面质量为目标，选择和优化砂轮与磨削参数的仿真方法，节约大量磨削加工工艺试验的时间和成本，对提高磨削加工效率，推动超精密磨削加工技术更广泛的应用具有重要的意义。超精密磨削与仿真技术澎湃号湃客澎湃新闻The Paper2019年6月1日 《硅片的超精密磨削理论与技术》作者：郭东明；康仁科，内容简介：本书在介绍单晶硅的物理、化学和半导体性质，以及单晶硅片在集成电路制造中的应用和加工要求的基础上，全面系统地阐述了硅片旋转磨削原理、超精密磨削机理、超精密磨削工艺、超精密磨床，完整地总结了著者及其团队十多 硅片的超精密磨削理论与技术 得到APP
超精密磨削PPT课件百度文库
超精密磨削PPT课件 PVA海绵抛光砂轮采用特殊合成树脂，加强其耐磨力和磨削力，由天特殊气 孔的存在，可迅速排除磨屑，不发生填塞及发热现象，避免发热烧伤工件， 适于长时间研磨工作。2024年4月1日 在此基础上，进一步提升重大装备性能并扩充种类，如7 m及以上口径光学元件毛坯制造基础装备、轻量化及超精密磨削装备、原子级加工装备、超大口径光学元件超精密测量仪器、超大尺寸光学元件修复装备、航天器机载光学元件制造及修复装备。3蒋庄德院士：高端光学元件超精密加工技术与装备发展研究2022年1月11日 半球谐振子作为半球谐振陀螺的核心部件，其加工精度和表面质量直接影响半球谐振陀螺的工作精度和使用寿命。为解决半球谐振子加工难题，提高半球谐振陀螺的性能，从半球谐振子的结构特征出发，对谐振子加工过程中的干涉进行理论分析；再根据球头砂轮磨削区域分布的特点进行磨削轨迹规划 半球谐振子曲面加工干涉分析及其超精密磨削工艺超高精密无心磨削 辛辛那提无心磨床具有 出色的强度和刚度。这意味着更高的生产效率，另一方面也表明，在道工序中，磨削达到非常严格的公差范围。通过0001 mm的补偿调整，我们可以保证零件的高精度和表面光洁度，同时减少砂轮的磨损。无心磨削贯通进给或切入进给磨削应用方式
.jpg)
高端制造的精密磨削技术加工砂轮表面
2022年3月14日 ELID超精密磨削 的过程可分为四个阶段，具体归纳如下图。 如下图ELID镜面磨削基本原理图(a)所示，在砂轮修正前，砂轮由磨粒和金属结合剂组成，磨粒均匀分布。在进行磨削加工前，需单独对砂轮进行 2023年3月13日 精密磨削可保持加工零件的严格公差和精确尺寸，以及光滑的表面光洁度——类型、优点等。 精密研磨 当今世界，对具有严格公差和精确尺寸的零件的需求不断增加。 在这种制造过程中，几乎没有误差的空 精密磨削综合指南 ProleanTech2023年9月25日 硬脆材料因其优异的物理与化学性质广泛应用于5G通讯、航空航天、电子电力等领域，高效率的超精密磨削技术是其加工流程中的重要一环。为了提高硬脆材料加工质量，需要对超精密磨削技术进行系统化的深入研究。本文从超精密磨削装备设计优化的角度出发，对自旋转磨削、双面磨削和磨抛一体 硬脆材料超精密磨削技术研究进展综述2020年10月17日 超精密磨削的特点： （1）超精密磨削是一个系统工程。（2）超硬磨料砂轮是超精密磨削的主要工具。（3）超精密磨削是一种超微量切除加工。超精密磨削的应用： （1）磨削钢铁及其合金等金属材料特别是经过淬火等处理的淬硬钢。关于磨削加工，最重要的20个重点问题答疑 知乎
苏州新云超精密技术有限公司官方网站
例如超精密撞点机、超精密VCUT机、多轴超精密加工机等。 这些基于超精密微车削、磨削 、铣削的纳米加工技术，与业内各知名厂商皆有合作。 立即咨询 2 强大的产品设计能力与代加工能力 大部份加工的VCUT、球面、非球面、微透镜 超精密磨削(共85张PPT)用系列（J）。普通磨料磨具的标志 普通磨料固结磨具的标志按国标GB248484规定，其书写顺序为：磨具形状、尺寸、磨料、力度、组织、结合剂、最高工作线速度。超精密磨削(共85张PPT)百度文库2020年8月28日 超硬材料微粉砂轮超精密磨削主要 用于磨削难加工材料，精度可达0025 μm。日本开发了电解在线修整(ELID)超精密镜面磨 削技术，使得用超细微(或超微粉)超硬磨料制造砂轮成为可能，可实现硬脆材料的高精度、 高效率的超精密磨削。先进技术｜磨削技术的现状与技术突破的关键 Medtec China2010年10月10日 希村超精密磨削中心 三轴全闭环精度更高 大理石床身精度稳定 大扭矩直线电机承载力更大 001UM分辨率光栅尺精度更高 机身内置循环冷却系统精度更稳定 智能操作补偿系统 希村磨削中心整机85吨，床身采用龙门式宽衡量结构，聚焦了主轴移动方向的运动量，有效的承载了主轴长时间高速运动的精度。希村超精密磨削中心希村精密机床（苏州）有限公司 HOPHET
超精密平面磨削的技术要求
超精密平面磨削的技术要求 更新日期： 浏览次数：4881 精密平面磨削的技术指标 精密加工和超精密加工代表了加工精度发展的不同阶段，通常，按加工精度划分，可将机械加工分为一般加工、精密加工、超精密加工三个阶段。2024年4月11日 超精密空气静压轴承主轴（磨削主轴、工件主轴） 1 ）高旋转精度 除了高速高精度高刚性低发热性和高可靠性，还实现了高精度旋转精度：磨削主轴： 20nm/NRRO工作主轴： 5nm/NRRO (注 1) 2 ）考 日本TOSHIBA东芝ULG超精密磨床磨削机床 切削机 2024年5月6日 此外，日本东京精密研 制的减薄机床 HRG3000RMX，其超精密磨削损伤层 深度小于 04 μm，超精密抛磨的损伤层深度小于 01 μm，可用于硅片的背面磨削，得到厚度小于 100 μm 的超薄硅片；日本冈本研发的 VG401MKII 磨床， 其工件磨削后的表面粗糙 超精密晶圆减薄砂轮及减薄磨削装备研究进展技术磨料磨具 超精密磨削和镜面磨削二、机理和关键设备 ——镜面磨削• 镜面磨削的基本出发点是：要达到境面， 必须使用尽可能小的磨粒粒度，比如说粒 度2μm乃至02μm。在ELID发明之前，微 粒度砂轮在工业上应用很少，原因是微粒 超精密磨削和镜面磨削百度文库
.jpg)
绝对超精密磨削，螺杆转子的成型磨削工艺！ 腾讯视频
2018年8月31日 绝对超精密磨削 ，螺杆转子的成型磨削工艺！2018年8月31日发布 02:28 绝对超精密磨削，螺杆转子的成型磨削工艺！ Thumbplayer 离线日志上报 上报日志 2024年8月20日 现任浙江工业大学超精密加工研究中心主任，浙江工业大学新昌研究院院长，兼任机械工业特种精密磨削重点实验室主任，曾任湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心主任，西湖论剑——国际精密制造论坛发起人及主任，中日超精密加工学术会议（CJUMP）中方机械工程学院 2022年11月30日 摘要： 本发明提供一种碳化钨或碳化硅工件表面的超精密磨削方法,该方法包括如下步骤:采用水溶性磨削液,并采用树脂砂轮对工件进行预设磨削参数及磨削路径下的半精密磨削加工;采用油性磨削液,并采用细陶瓷砂轮对工件进行预设磨削参数及磨削路径下的精密磨削加工;对精密磨削加工后的工件 碳化钨或碳化硅工件表面的超精密磨削方法 百度学术2020年8月3日 磨削加工一般分为普通磨削、精密磨削、高精密磨削和超精密磨削加工。他们能实现的磨削精度在工业生产发展的不同历史时期有着不同的精度范围； 普通磨削当前是指加工表面粗糙度为Ra016～125μm，加工精度＞1μm的磨削方法。精密磨削、高精密磨削与超精密磨削的定义 圣戈班 (中国
磨削百度百科
磨削加工，在机械加工隶属于精加工（机械加工分粗加工，精加工，热处理 等加工方式），加工量少、精度高。在机械制造行业中应用比较广泛，经热处理淬火的 碳素工具钢 和渗碳淬火钢零件，在磨削时与磨削方向基本垂直的表面常常出现大量的较规则排列的裂纹磨削裂纹，它不但影响零件的 2024年5月6日 此外，日本东京精密研 制的减薄机床 HRG3000RMX，其超精密磨削损伤层 深度小于 04 μm，超精密抛磨的损伤层深度小于 01 μm，可用于硅片的背面磨削，得到厚度小于 100 μm 的超薄硅片；日本冈本研发的 VG401MKII 磨床， 其工件磨削后的表面粗糙 超精密晶圆减薄砂轮及减薄磨削装备研究进展技术磨料磨具 ELID超精密磨削的过程可分为四个阶段，具体归纳如图2 。 图2 ELID磨削过程流程图 ELID磨削的机理可由图3形象描述。在电解修整过程中，金属结合剂砂轮为阳极，发生如下电解反应（以铁元素为例 ELID超精密磨削技术综述百度文库2022年11月25日 如7 m及以上口径光学元件毛坯制造基础装备、轻量化及超精密磨削 装备、原子级加工装备、超大口径光学元件超精密测量仪器、超大尺寸光学元件修复装备、航天器机载光学元件制造及修复装备。《3 形成超精密制造领军企业 高端光学元件超精密加工技术与装备发展研究 CAE
硅片的超精密磨削理论与技术 得到APP
2019年6月1日 《硅片的超精密磨削理论与技术》作者：郭东明；康仁科，内容简介：本书在介绍单晶硅的物理、化学和半导体性质，以及单晶硅片在集成电路制造中的应用和加工要求的基础上，全面系统地阐述了硅片旋转磨削原理、超精密磨削机理、超精密磨削工艺、超精密磨床，完整地总结了著者及其团队十多 2023年7月25日 超精密磨削是半导体基片平整化加工和背面减薄加工的核心工艺技术，对半导体器件的加工效率及加工质量具有重要的影响。 为了满足半导体器件的使用性能，半导体材料的种类逐渐增多，半导体基片的加工要求不断提高，对半导体基片超精密磨削技术不断提 半导体基片超精密磨削技术的研究现状与发展趋势2015年1月3日 (4)超精密砂类磨削利用粒度类P600~P1200的微粉砂类可类行超精密 砂类磨削，其加工精度可达01um以上，表面粗度可糙达 Ra0025~0008um。通常类在超精密砂类磨床上类行加工。精密和超精密磨削的精度和粗度糙 磨削方法 磨削方法 精密磨削 精密磨削第4章超精密磨削(康仁科)大连理工大学 豆丁网本书在介绍单晶硅的物理、化学和半导体性质，以及单晶硅片在集成电路制造中的应用和加工要求的基础上，全面系统地阐述了硅片旋转磨削原理、超精密磨削机理、超精密磨削工艺、超精密磨床，完整地总结了著者及其团队十多年来在硅片超精密磨削理论与技术方面的研究成果。硅片的超精密磨削理论与技术百度百科
北京海普瑞森超精密技术有限公司
超精密光学加工设备——超精密数控磨床DJC100E DJC100E 超精密单点金刚石车床外形图 用于脆硬性材料的超精密磨削，可磨 查看详情 超精密金刚石锥体数控车床 针对有色金属锥体零件研制的专用机床。 查看详情 高精密数控两端版辊系列镗床 用于凹印 2022年9月1日 OWL(Φ100m))拼接式离轴非球面镜（数米尺寸）加工的多轴超精密磨削 加工等。近年来，太赫兹（THZ）作为一门新兴技术得到了广泛重视，是未来超精密加工技术与机床极为广大和重要的应用领域。在大的尺度方面 超精密加工机床关键技术与应用 知乎施晨淳，博士，《超精密成形磨削 机床液体静压导轨运动误差分析及节流控制技术研究》 ©2015～2025 版权所有 厦门大学航空航天学院 福建省厦门市翔安区翔安南路4221134号厦门大学翔安校区航空航天 王振忠航空航天学院 Xiamen University超精密磨削是一种先进的加工技 术，通过高精度的磨削工具和加 工参数，实现工件的高精度、高 效率的磨削加工。 运用统计方法对加工过程进行监控，通过控制图对加工过程的稳 定性进行分析和控制。 测量系统分析（MSA） 对测量系统进行评估和分析 超精密磨削PPT培训课件百度文库
.jpg)
法孚集团提供各种小型工件的内圆/外圆磨削方案
磨削技术 无心磨床 圆柱面 内圆/外圆磨削 随动磨床 单端面和双端面磨削 超精密加工技术 应用广泛 轴承 刹车盘 电动汽车 重工业 液压部件 内燃机发动机 发电机 烧结部件 变速箱和传动系统 其它方面的运用 工程设计服务 工程设计合作伙伴 定制加工服务小型高精度自由曲面、棱镜和非球面磨削 法孚的克兰菲尔德精密机床TTG提供高精度非球面和自由曲面的磨削。专为 高端光学和模具 的磨削设计，包括医疗和航空航天领域的工件，磨床磨削工件直径可达 350 mm。 克兰菲尔德超精密机床TTG行业领先的超精密加工，来自克兰菲尔德精密2018年11月1日 超精密加工主要有超精密切削、超精密磨削 以及抛光加工，其加工精度可以 达到亚微米量级的形状精度和纳米量级的表面粗糙度。特别是使用精密的天然单 点金刚石刀具加工有色金属和非金属，可以直接切削出超光滑的加工表面，省去 超精密加工技术讲义 USTC2023年11月1日 新型的数控磨床、超精密磨削 机、多轴联动磨削机等设备的出现，为精密磨削技术的应用提供了更加先进的加工手段，大幅度提高了工件的加工精度和加工效率。 同时，磨削设备的化、自动化程度也在不 精密磨削技术在工业制造中的应用与发展 Saint
.jpg)
精密和超精密磨削机理及磨削砂轮选择的研究
2016年7月9日 从磨削砂轮及其修整、磨削用量、磨床精度等主要方面总结达到精密和超精密磨削效果的必要措施。提出有关超精密磨削机理的技术发展前沿并着重介绍有关超硬材料砂轮超精密磨削的研究趋势。2023年5月6日 度微量可控的超精密磨削加工，加工口径为1 m工件 的表面形状精度能够达到1 μm[3]。美国Moore公司研 制的五轴联动Nanotech 500FG、Nanotech 650FG超 精密磨床，可以磨削轴对称、非轴对称的光学曲面，曲面磨削加工面形精度PV可达到03 μm，表面粗糙光学元件超精密磨抛加工技术研究与装备开发 OE Journal2021年8月17日 这种以超精密加工对象的精度和表面质量为目标，选择和优化砂轮与磨削参数的仿真方法，节约大量磨削加工工艺试验的时间和成本，对提高磨削加工效率，推动超精密磨削加工技术更广泛的应用具有重要的意义。超精密磨削与仿真技术澎湃号湃客澎湃新闻The Paper2019年6月1日 《硅片的超精密磨削理论与技术》作者：郭东明；康仁科，内容简介：本书在介绍单晶硅的物理、化学和半导体性质，以及单晶硅片在集成电路制造中的应用和加工要求的基础上，全面系统地阐述了硅片旋转磨削原理、超精密磨削机理、超精密磨削工艺、超精密磨床，完整地总结了著者及其团队十多 硅片的超精密磨削理论与技术 得到APP
超精密磨削PPT课件百度文库
超精密磨削PPT课件 PVA海绵抛光砂轮采用特殊合成树脂，加强其耐磨力和磨削力，由天特殊气 孔的存在，可迅速排除磨屑，不发生填塞及发热现象，避免发热烧伤工件， 适于长时间研磨工作。2024年4月1日 在此基础上，进一步提升重大装备性能并扩充种类，如7 m及以上口径光学元件毛坯制造基础装备、轻量化及超精密磨削装备、原子级加工装备、超大口径光学元件超精密测量仪器、超大尺寸光学元件修复装备、航天器机载光学元件制造及修复装备。3蒋庄德院士：高端光学元件超精密加工技术与装备发展研究2022年1月11日 半球谐振子作为半球谐振陀螺的核心部件，其加工精度和表面质量直接影响半球谐振陀螺的工作精度和使用寿命。为解决半球谐振子加工难题，提高半球谐振陀螺的性能，从半球谐振子的结构特征出发，对谐振子加工过程中的干涉进行理论分析；再根据球头砂轮磨削区域分布的特点进行磨削轨迹规划 半球谐振子曲面加工干涉分析及其超精密磨削工艺